제품안내

제품안내

기계, 전기, 전자사업의 구조 재료및 핵심부품
  • Endeffector
    ENDEFFECTOR
    - Wafer Transfer 공정
  • RING
    RING
진공 자외선이 조사되는 LAMP, CVD, WET, DRY 공정 등에 사용
  • Wet 공정
    WET 공정
  • Wet 공정
    WET 공정
  • CVD 공정
    CVD 공정
  • CVD 공정
    CVD 공정
  • Endeffector
    Q'TZ WINDOW
  • RING
    BOAT
  • Endeffector
    BOAT
  • RING
    BASE PLATE
  • Q'TZ BATH
    Q'TZ BATH - Cleaning 공정
  • Q'TZ BATH
    Q'TZ BATH - Cleaning 공정
  • WAFER GUIDE
    WAFER GUIDE - Cleaning 공정
  • WAFER GUIDE
    WAFER GUIDE - Cleaning 공정
  • WAFER GUIDE
    WAFER CHUCK - Cleaning 공정
  • WAFER GUIDE
    WAFER CHUCK - Cleaning 공정
Chemical을 heating하여 bath or tank로 이송하는 Heater

DNS TYPE

  • Q'TZ BATH
    In-Line Heater
  • Q'TZ BATH
    Configuration
  • WAFER GUIDE
    Features
  • WAFER GUIDE
    Controller
  • WAFER GUIDE
    Information
  • WAFER GUIDE
    Dimension

SES TYPE

  • Endeffector
    In-Line Heater
  • RING
  • Q'TZ BATH
  • Q'TZ BATH
  • WAFER GUIDE
  • WAFER GUIDE
  • WAFER GUIDE
  • Endeffector
    FOCUS ADAPTOR
  • RING
    FOCUS ADAPTOR
  • Endeffector
    TORUS, QUARTZ REVOLUTION
  • RING
    TORUS, QUARTZ REVOLUTION