제품안내
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기계, 전기, 전자사업의 구조 재료및 핵심부품
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ENDEFFECTOR
- Wafer Transfer 공정 -
RING
진공 자외선이 조사되는 LAMP, CVD, WET, DRY 공정 등에 사용
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WET 공정
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WET 공정
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CVD 공정
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CVD 공정
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Q'TZ WINDOW
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BOAT
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BOAT
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BASE PLATE
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Q'TZ BATH - Cleaning 공정
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Q'TZ BATH - Cleaning 공정
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WAFER GUIDE - Cleaning 공정
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WAFER GUIDE - Cleaning 공정
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WAFER CHUCK - Cleaning 공정
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WAFER CHUCK - Cleaning 공정
Chemical을 heating하여 bath or tank로 이송하는 Heater
DNS TYPE
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In-Line Heater
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Configuration
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Features
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Controller
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Information
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Dimension
SES TYPE
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In-Line Heater
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FOCUS ADAPTOR
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FOCUS ADAPTOR
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TORUS, QUARTZ REVOLUTION
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TORUS, QUARTZ REVOLUTION